隨著工業生產的發展，對流量測量的準確度和范圍的要求越來越高，流量測量技術日新月異。為了適應各種用途，各種類型的流量計相繼問世。目前已投入使用的流量計已超過100種，而熱式氣體質量流量計就是這其中應用比較廣泛的一種。熱式質量流量計可分為：恒溫差法（功率消耗測量法）流量計和恒功率法（溫度測量法）流量計。從熱式質量流量計的發展歷史來看，恒溫差式流量計更先應用于實際工業的介質測量，這是因為恒溫差式實現起來比恒功率式更加容易，但是隨著生產要求的不斷提高，恒溫差式流量計已經很難滿足一些特殊生產的需要，這就使恒功率式流量計成為重點的研究方向。

1 恒溫差法

原理：恒溫差法（功率消耗測量法）是加熱元件的溫度高于氣體的溫度，氣體流過時帶走一部分熱量，保持加熱元件和被測氣體溫度差恒定在一定的溫差，控制和測量熱源提供的功率，功率消耗隨流量的增加而增加，由功率的消耗反映氣體流量。

在測量管路中加入兩只金屬鉑電阻，一個鉑電阻加入較小的電流（電流在4mA以下，不會引起電阻發熱），用于測量被測流體溫度，稱為測溫電阻。另一個鉑電阻通入較大電流（電流一般在50mA以上），用于測量被測流體的速度，稱為測速電阻。根據熱擴散原理，加熱物體被流體帶走的熱量與加熱物體與流體的溫差、流體的流速以及流體的性質有關。工作時測溫電阻不斷檢測介質溫度，測速電阻自加熱到一個高于流體的恒定溫度，流體流動時，由于散熱測速電阻表面溫度降低，測速電阻阻值發生變化，惠斯通電橋不平衡。通過由惠斯通電橋組成的反饋電路把溫差反饋到處理器來增大加熱器的電流（也可以是電壓）來保持其溫差為恒定。

2 恒功率法

恒功率法（溫度測量法）是以恒定功率為鉑熱電阻提供熱量，使其加熱到高于氣體的溫度，流體流動帶走鉑熱電阻表面一部分熱量，流量越大，溫度降越大，測量隨流體流量變化的溫度，可以反映氣體流量。有以下兩種實現方式：

原理：與恒溫差式流量計的結構類似，在測量管路中同樣加入兩個金屬鉑電阻，一個為用于測量被測流體溫度的測溫電阻，另一個為用于測量被測流體速度的測速電阻。在加熱器上加上一個恒定的功率對測速鉑電阻加熱，流體在靜止時測速鉑電阻和測溫鉑電阻表面溫度差ΔT21=TS2-TS1最大，隨著介質的流動，兩個鉑電阻表面溫度差減小。流體的流量越大，兩只鉑電阻的溫差越小。鉑電阻連接在惠斯通電橋中，鉑電阻的溫度不同使鉑電阻的電阻呈現不同阻值，從而使電橋不平衡，通過檢測電橋的電壓差來反應流體流量。