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熱式質量流量計是利用熱傳導原理測量氣體質量流量的儀表。該儀表的傳感器由兩個基準級熱電阻(鉑RTD)組成。一個是質量速度傳感器T1，一個是測量氣體溫度變化的溫度傳感器T2。當這兩個RTD置于被測氣體中時，其中傳感器T1被加熱到氣體溫度以上的一個恒定的溫差，另一個傳感器T2用于感應被測氣體溫度。隨著氣體質量流速的增加，氣流帶走更多熱量,傳感器T1的溫度下降，要維持T1、T2恒定的溫度差，T1的加熱功率就要增大。根據熱效應的金氏定律,加熱功率P、溫度差△T（T1-T2）與質量流量Q有確定的數學關系式。
熱式質量流量計的應用領域
1 氧氣、氮氣、氫氣、氯氣及多組分氣體測量。
2 高爐煤氣、焦爐煤氣測量。
3 煙道氣測量。
4 沼氣、水處理中的曝氣和氯氣測量。
5 壓縮空氣測量。
6 天然氣，液化氣，火炬氣，等氣體流量測量。
7 電廠高爐的一次風、二次風流量測量。
8 礦井下通風或排風系統流量測量。
