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熱式只能用在氣體，利用各種氣體對熱的傳導和吸收能力不同，測量從發熱到感應之間的熱量傳遞或者熱能損失來對應流速。國產的很多，有FCI/BROOKS/Krohne和Sierres等。
熱式質量流量計(Thermal Mass Flowmeters，簡稱TMF)在國內習稱量熱式流量計，是利用流體流過外熱源加熱的管道時產生的溫度場變化來測量流體質量流量，或利用加熱流體時流體溫度上升某一值所需的能量與流體質量之間的關系來測量流體質量流量的一種流量儀表。一般用來測量氣體的質量流量。具有壓損低;流量范圍度大;高精度、高重復性和高可靠性;無可動部件以及可用于極低氣體流量監測和控制等特點. 利用加熱流體的熱量(或溫度)變化測量流體的質量流量已有很長的歷史。
通常的質量流量計指科里奧利流量計，利用科里奧利原理（地球自轉對曲線運動物質的干擾）來直接測量流體流過的質量量，可以測氣體和液體。
流體的體積是流體溫度和壓力的函數，是一個因變量，而流體的質量是一個不隨時間、空間溫度、壓力的變化而變化的量。如前所述，常用的流量計中，如孔板流量計、渦輪流量計、渦街流量計、電磁流量計、轉子流量計、超聲波流量計和橢圓齒輪流量計等的流量測量值是流體的體積流量。
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