氣體質量流量計控制器的工作原理特征

發布日期：2019-01-14 作者：點擊：

流量計可以用于控制各種清潔干燥氣體，包括腐蝕性氣體和特殊氣體，但對于使用腐蝕性氣體和特殊氣體，需要恰當選擇型號和密封材料。用戶在訂貨時，需要向供貨廠商特殊說明使用氣體，以免因為選型或選擇密封材料錯誤，造成嚴重損失。通常質量流量控制器接觸工作氣體的材質為316L不銹鋼、密封材質分為金屬焊接，聚四氟乙烯和普通氟橡膠。質量流量控制器采用金屬焊接密封的MFC原則上可以用于任何氣體，包括各種腐蝕性氣體和特種氣體。對于三溴化硼、三氯化硼、氟化氫等強腐蝕性氣體和MOCVD使用的金屬氧化物氣體建議采用金屬焊接密封的MFC。

質量流量控制器由流量傳感器、分流器通道、流量調節閥門和放大控制器等部分組成。質量流量控制器傳感器采用毛細管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質量流量(無需溫度壓力補償)。將傳感器加熱電橋測得的流量信號送入放大器放大, 放大后的流量檢測電壓與設定電壓進行比較, 再將差值信號放大后去控制調節閥門，閉環控制流過通道的流量使之與設定的流量相等。分流器決定主通道的流量。與質量流量控制器配套的流量顯示儀上設置有穩壓電源,數字電壓表, 設定電位器, 外設、內設轉換和三位閥控開關等。

氣體質量流量計控制器是一種無須溫度、壓力補償就能方便而且準確地監測在管道中流動的各種氣體、熱式氣體質量流量計是一種新型流量計量、監控儀表。

氣體質量流量計采用熱擴散原理，熱擴散技術是一種在苛刻條件下性能優良、可靠性高的技術。其典型傳感元件包括兩個熱電阻(鉑RTD)，一個是速度傳感器，一個是自動補償氣體溫度變化的溫度傳感器。當兩個RTD被置于介質中時，其中速度傳感器被加熱到環境溫度以上的一個恒定的溫度，另一個溫度傳感器用于感應介質溫度。流經速度傳感器的氣體質量流量是通過傳感元件的熱傳遞量來計算的。氣體流速增加，介質帶走的熱量增多。使傳感器溫度隨之降低。為了保持溫度的恒定，則必須增加通過質量流量控制器的工作電流，此增加的部分電流大小與介質的流速成正比。

氣體質量流量計